一种被测面可旋转的相移干涉仪及测量方法
专利号:2019104913327
专利人:合肥名龙电子科技有限公司
本发明公开了一种被测面可旋转的相移干涉仪及测量方法;相移干涉仪包括激光发射器、准直镜、分光器、参考镜面、被测物、凸透镜、镜面旋转器和CCD相机,所述激光发射器、准直镜、分光器、被测物分布与同一轴线上,所述参考镜面和成像镜头分布于分光器的前测和后测,所述镜面旋转器位于被测物底部;通过旋转被侧面的角度达到相移的目的,而不使用传统的相移器,物体无需在轨道上移动,如此便可以节省空间,使干涉仪不在受到长度的限制。