一种化学机械抛光液用硅溶胶及其制备方法专利号:2019103209420专利人:左海珍
本发明提供了一种化学机械抛光液用硅溶胶,通过高岭土提纯处理,利用制浆分级获得磁选料‑梯度磁选除铁钛‑焙烧增白‑高温钙化,最终获得硅溶胶原料用氧化硅,有效的提高了高岭土在抛光领域的使用范围,便于向高精度化学机械抛光领域拓展,且制备的氧化硅纳米颗粒尺寸均一,分散性良好,适于作为蓝宝石抛光液中硅元素的原材料。